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美國派克930系列手動或氣動隔膜閥技術參數(shù)

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美國派克930系列手動或氣動隔膜閥技術參數(shù):

派克930系列1-1 / 8英寸不銹鋼閥體隔膜閥提供優(yōu)異的泄漏完整性,高循環(huán)使用壽命和低顆粒發(fā)生,非常適用于UHP半導體應用。

930系列采用不與過程流體接觸無螺紋或彈簧設計,可大限度地減少顆粒產(chǎn)生和截留,減少半導體應用中*的工藝污染。該系列閥門的嚴格設計,控制閥座和隔膜應力,以提供穩(wěn)定和免維護的使用壽命。930系列閥門潤濕部件由特種金屬制成,提供的耐腐蝕性和泄漏完整性。閥體是內(nèi)部采用電拋光處理的Vericlean™ 316L不銹鋼材質(zhì)。 Vericlean™ 是派克的UHP級不銹鋼。隔膜是高強度鈷基合金材質(zhì)。 930系列還提供聚三氟氯乙烯(PCTFE),聚醚醚酮樹脂(PEEK®)和聚酰亞胺(Vespel®)材質(zhì)的閥座,可使930閥門與多種工藝流體相兼容。這些材料結(jié)合930系列嚴格的設計特點,給予了930系列產(chǎn)品在入口壓力高達300 psig時的耐腐蝕性和更大循環(huán)使用壽命。

930系列氣動閥可以配置限位開關或接近開關,用以提供開 - 關位置指示。還有多種閥體構(gòu)造可選,包括930Y系列(Y型閥)和SM930系列(面板安裝)。

930系列閥門上內(nèi)部(閥座)密封件和密封外的金屬部件均通過質(zhì)譜儀進行氦氣泄露測試,以適應在苛刻的UHP應用中,保有其性能和穩(wěn)定性。

市場:
• 半導體
• 分析實驗室
• 制藥
• 生物制藥
• 航空航天
• 工業(yè)

特點與優(yōu)勢:
• 電拋光表面光潔度:5微英寸(Ra)
• 高循環(huán)使用壽命(包括耐腐蝕服務)
• 內(nèi)部無彈簧和無螺紋設計可大限度地減少顆粒產(chǎn)生和氣體截留
• 全壓力范圍使用:從真空到300 psig
• 內(nèi)部泄漏率:≤1 x 10-9 scc / sec He
• 外部泄漏率:≤2 x 10-10 scc / sec He
• AOP驅(qū)動,額定壓力為75 psig

應用:
• 腐蝕性氣體和特種氣體
• 半導體工具
• 工具連接
• 燃氣柜
• 閥組箱(VMB)

 
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